在微電子用潔凈室、藥品生產(chǎn)用潔凈室中，常常在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用或產(chǎn)生，各種酸性和堿性物質(zhì)、有機(jī)溶劑和一般氣體、特種氣體；在致敏性藥物、某些甾體藥物、高活性、有毒性藥物生產(chǎn)過程還會有相應(yīng)的有害物質(zhì)排出或泄漏入潔凈室內(nèi)，為此對于上述產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室內(nèi)可能排出各種有害物質(zhì)、氣體或粉塵的生產(chǎn)工藝設(shè)備或工序設(shè)置局部排風(fēng)裝置或全室排風(fēng)裝置，按生產(chǎn)工藝過程排出的廢氣的類型可將排風(fēng)裝置（系統(tǒng)）大體劃分為下列幾種類型。
一般排風(fēng)系統(tǒng)
這是指在生產(chǎn)輔助用室、生活用室，如值班室、衛(wèi)生間等排出的一般廢氣，大多數(shù)情況下不需要進(jìn)行特殊處理即可直接排入大氣。
有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)
在產(chǎn)品生產(chǎn)中使用各類有機(jī)物質(zhì)、溶劑作為原輔材料或清洗劑時(shí)，都將會在相關(guān)的場所或設(shè)備處散發(fā)有機(jī)物質(zhì)、溶劑的氣體，對這類場所或設(shè)備均應(yīng)設(shè)置排風(fēng)裝置。在一般情況下，有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)中的有機(jī)氣體濃度是很低的，若能達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的大氣排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)可直接排入大氣，不需設(shè)置廢氣處理裝置；當(dāng)排風(fēng)系統(tǒng)中有機(jī)氣體濃度超過規(guī)定時(shí)，應(yīng)設(shè)有機(jī)氣體處理裝置，經(jīng)過處理達(dá)標(biāo)后才能排入大氣。有機(jī)排氣的凈化處理有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等，活性炭吸附注主要用于中小流量的不含粉塵、膠粘物質(zhì)的苯類、汽油類有機(jī)排氣的處理；液體吸收法，設(shè)備簡單、耗能低，但吸收效率不高；催化燃燒法主要用于較高濃度的苯類、醇類、脂類、汽油等有機(jī)排氣的處理。有機(jī)氣體處理裝置應(yīng)根據(jù)排風(fēng)系統(tǒng)所含有機(jī)物質(zhì)的品種、濃度情況選用相應(yīng)的處理設(shè)備。
酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)
在產(chǎn)品生產(chǎn)中的濕法化學(xué)腐蝕、酸液清洗、實(shí)驗(yàn)室內(nèi)均有酸性氣體排出，在這類酸性氣體的排風(fēng)系統(tǒng)通常設(shè)置溫式洗氣吸收塔，處理后排入大氣。實(shí)際設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)根據(jù)酸性氣體的類型、濃度選用合適的吸收液和吸收塔的形式。
堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)
在排風(fēng)系統(tǒng)氣體中含有堿性物質(zhì)或在排氣中混入堿性化學(xué)試劑，與酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)類似，通常采用濕式洗氣吸收塔處理后排入大氣。近年來，由于大氣排放標(biāo)準(zhǔn)越來越嚴(yán)格，需對含有堿性物質(zhì)（或酸性物質(zhì)）濃度較低的排氣也應(yīng)進(jìn)行凈化處理才能達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)，為此可采用專用吸附劑對堿性排氣（或酸性排氣）進(jìn)行處理達(dá)標(biāo)后才能排入大氣，此種吸附劑一般為一次性的，使用后應(yīng)進(jìn)行集中處理，通常作為固體廢棄物由城市垃圾處理場集中處理。
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