純水是電子、電力、醫(yī)藥、食品、石油、化工等工業(yè)部門所必須的基礎(chǔ)材料之一,尤其被廣泛使用于電子工業(yè)的電子元件、電真空器件、顯像管、半導(dǎo)體器件等生產(chǎn)中。隨著集成電路的迅速發(fā)展,對(duì)純水的質(zhì)量要求日益提高,需用量也大幅度增加。面對(duì)這種狀況,人們首先把注意力放在采用先進(jìn)的制造工藝和設(shè)備,并輔以科學(xué)的管理上面,但往往忽視了另一重要環(huán)節(jié)--純水輸送系統(tǒng)。該系統(tǒng)如設(shè)計(jì)不當(dāng),就會(huì)使使用點(diǎn)處的純水水質(zhì)大大降低,為此本篇將對(duì)此問題的簡(jiǎn)要討論,僅供各位同行參考。
管材選擇
高純水被污染的原因
一是來自外界雜質(zhì)的引入
二是系統(tǒng)內(nèi)各種材料中所含污染物的溶出。
因管道材質(zhì)造成純水水質(zhì)下降主要有以下兩點(diǎn):
(1)管道材質(zhì)中的不純物質(zhì)溶解于高純水中致使水中陽、陰離子增加、電阻率下降以及TOC增大。
(2)因管道內(nèi)壁不光滑及接頭、閥門等原因造成細(xì)菌滯留繁殖以及其他顆粒的聚積,致使水中微粒增加。
為了減少上述不利因素的影響,應(yīng)選用可萃性低、內(nèi)壁光滑的管道并盡可能減少接頭及管件的凹凸不平。當(dāng)然也要根據(jù)純水水質(zhì)的級(jí)別進(jìn)行選材,并注意材料的價(jià)格等,要統(tǒng)籌兼顧。根據(jù)材質(zhì)的不同,高純水配管主要可分為有機(jī)系配管和不銹鋼配管兩大類。有機(jī)系配管的品種常見的包括聚氯乙烯(PVC),聚丙烯(PP),丙烯腈-丁乙烯-苯乙烯(ABS),聚偏二氟乙烯(PVDF)等4種。
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